洁净度等级标准

GB洁净度级别

悬浮粒子最大允许数（个/立方米）（静态）

浮游菌

Cfu/m³

沉降菌

(ø90mm)

Cfu/4h

表面微生物

尘粒最大允许数/立方米

≥0.5μm尘粒数

≥5μm尘粒数

接触（ø55mm）

Cfu/蝶

5指手套

Cfu/手套

A级

3,520

20

1

1

1

1

B级

3520

29

10

5

5

5

C级

35200

2900

100

50

25

--

D级

3520000

29000

200

100

50

--

空气洁净

度等级(N)

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（空气粒子数个/立方米）

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1.0um

5.0um

ISO Class1

10

2

ISO Class2

100

24

10

4

ISO Class3

1,000

237

102

35

8

ISO Class4

10,000

2,370

1,020

352

83

ISO Class5

100,000

23,700

10,200

3,520

832

29

ISO Class6

1,000,000

237,000

102,000

35,200

8,320

293

ISO Class7

352,000

83,200

2,930

ISO Class8

3,520,000

832,000

29,300

ISO Class9

35,200,000

8,320,000

293,000

注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平

个/M≥0.5um

ISO

14644-1(1999)

US

209E(1992)

US

209D(1988)

EEC

cGMP(1989)

FRANCE

AFNOR(1981)

GERMANY

VDI 2083(1990)

JAPAN

JAOA(1989)

1

-

-

-

-

-

-

-

3.5

2

-

-

-

-

0

2

10.0

-

M1

-

-

-

-

-

35.3

3

M1.5

1

-

-

1

3

100

-

M2

-

-

-

-

-

353

4

M2.5

10

-

-

2

4

1,000

-

M3

-

-

-

-

-

3,530

5

M3.5

100

A+B

4,000

3

5

10,000

-

M4

-

-

-

-

-

35,300

6

M4.5

1,000

1,000

-

4

6

100,000

-

M5

-

-

-

-

-

353,000

7

M5.5

10,000

C

400,000

5

7

1,000,000

-

M6

-

-

-

-

-

3,530,000

8

M6.5

100,000

D

4,000,000

6

8

10,000,000

-

M7

-

-

-

-

-